آشنایی با اتاق تمیز دانشگاه صنعتی شریف

Responsive Image
اتاق تمیز مرکزی شریف، با حمایت معاونت پژوهشی دانشگاه صنعتی شریف زیرمجموعه‏‏ مرکز خدمات آزمایشگاهی، در اسفندماه سال 1400 در محل دانشگاه صنعتی شریف راه اندازی شده است. این مجموعه با هدف ارتقای توانمندی‏‌ها و امکانات کافی در جهت ساخت ادوات و ریزافزاره‏‌های میکرو و نانومتری، بیوتکنولوژی و سلولی و پزشکی بازساختی در محیط اتاق تمیز با کلاس 1000 و 10000 ساخته شده است. استفاده از خدمات این مجموعه برای کلیه‏ دانشجویان کشور، پژوهشگران، مراکز تحقیقاتی و صنایع مرتبط میسر است که به منظور دسترسی به اطلاعات برای دریافت خدمات و ثبت سفارش این وبسایت راه‌اندازی شده است.
این مجموعه در دو طبقه مجزا ساخته شده است که شامل 1- مرکز ساخت میکرو و نانو در طبقه پایین و 2- مرکز بیوتکنولوژی در طبقه بالا می‌باشد. به منظور دریافت خدمات و همچنین هماهنگی‌های لازم به منظور بازدید از اتاق تمیز می‌توان به اتاق کارشناسی که در طبقه فوقانی وجود دارد مراجعه کرد.
Responsive Image
مرکز ساخت میکرو و نانوی اتاق تمیز مرکزی شریف در چهار بخش اصلی ساخته شده است که شامل بخش‌‏های: لیتوگرافی در کلاس 1000، لایه‌های نازک در کلاس 10000 ، زدایش شیمیایی در کلاس 10000 و پلیمرهای سیلیکونی PDMS در کلاس 10000 می‏باشد. کلیه‏ بخش‏‌های مجموعه‏ اتاق تمیز تحت سیستم هواساز مرکزی است که به جهت گردش مداوم هوای تمیز در داخل اتاق، تمام ورودی‏‌ها و خروجی‌‏های هوا به فیلترهای هپای چند لایه مجهز شده‏‌اند. با استفاده از نرم افزار کنترل مرکزی هواساز، فشار هر بخش و دمای هوای در گردش داخل قسمت‏‌های مختلف اتاق، بطور مداوم اندازه‌ ‏گیری، پایش و ثبت می‌‏گردد و چک دوره‌‏ای این داده‌‏ها طبق استانداردهای موجود انجام می‏‌شود. هم‏چنین برای دقت بیشتر و سهولت دسترسی کاربران، در هر بخش از این اتاق لاگر دما و رطوبت تعبیه شده است.

بخش لیتوگرافیِ این مرکز با هدف ارائه‏ خدمات به پژوهشگران مختلف در زمینه لیتوگرافی، حکاکی، ساخت افزاره‌‏های میکرونی و نانونومتری ساخته شده است که با توجه به نوع طراحی این بخش و جداسازی آن از فضای ورودی اصلی با استفاده از شش درب مجزا و گردش هوای تمیز درون آن در کلاس 1000 قرار دارد. هم‏چنین به جهت استفاده از مواد حساس به نور سفید در فرآیند لیتوگرافی، برای روشنایی در این بخش از نور زرد استفاده شده است تا این مواد آسیب نبینند. از این جهت این بخش به اتاق زرد مجموعه معروف شده است. این بخش مجهز به یک سیستم تراز کننده ماسک (Mask Aligner) است که جهت طرح اندازی روی نمونه‏‌های مختلف با استفاده از انواع فوتورزیست‌‏ها استفاده می‏‌شود.
Responsive Image

Responsive Image
بخش لایه‌های نازک و پلاسمای این مرکز مجهز به چندین سیستم لایه‌ ‏نشانی از جمله لایه‏ نشانی کند و پاش (DC/RF Sputtering Deposition)، سیستم لایه ‏نشانی تبخیر حرارتی (Thermal Evaporation Deposition) و لایه‏ نشانی پرتو الکترونی (Electron Gun Deposition) است که در نوع خود تجمیع مناسبی از روش‏‌های لایه‏‌ نشانی متنوع در محیط اتاق تمیز است. در کنار این سیستم‌‏ها به جهت اصلاح، فعالسازی و تمیز سازی سطوح نمونه‌‏ها یک عدد سیستم زدایش پلاسمای اکسیژن وجود دارد که پروسه کار در زمینه‏ لایه‌‏های نازک را تقویت می‏‌نماید. هم‏چنین جهت ارائه‏ خدمات کامل‌‏تر به پژوهشگران حوزه‏ لیتوگرافی و زدایش فیزیکی و شیمیایی و ... یک عدد سیستم زدایش یون واکنشگر (RIE) به این بخش اضافه شده است. هم‏چنین جهت ایجاد طرح‌‏های مختلف برروی نمونه‌های لایه نازک یک عدد سیستم لیزر با طول موج 1064 نانومتر و توان اسمی 50 وات در این اتاق تعبیه شده است تا نیاز کار برروی مجموعه پروژه‏‌های مبتنی بر لایه نازک برآورده گردد.

Responsive Image
بخش پلیمر سیلیکونی با توجه به کاربردهای فراوان مواد پلیمری بر پایه‏ سیلیکون PDMS در انواع روان کننده‌ها، مایعات هیدرولیکی‏، آب بندها، درزگیرها، رزین‏‌ها و در لیتوگرافی نرم و در سیستم‌های میکروالکترومکانیکی پزشکی (bio-MEMS)  بخشی از اتاق تمیز مرکز ساخت میکرو و نانو به ساخت مواد PDMS اختصاص یافته است. این بخش با داشتن هودی مناسب با مکش مناسب برای جلوگیری از آسیب‌های شیمیایی و تجهیزات لازم جهت ساخت همچون کوره‏ حرارتی، ترازو، دسیکاتور و .... فضای مناسبی برای ساخت این مواد پرکاربرد فراهم آورده است.
Responsive Image
بخش زدایش شیمیایی مجهز به سه عدد هود کاملا تخصصی است که طراحی و ساخت آن توسط متخصصان داخلی در شرکت سرمد، تحت نظارت کمیته‏ فنی اتاق تمیز انجام شده است. هودهای مخصوص جهت کار با اسیدها و بازها از جنس PP بطور مجزا و هود استیل برای استفاده از حلال‏‌ها در نظر گرفته شده است. این هودها با طراحی هدفمند و با استفاده از سنسورهای هشدار هوشمند و اندازه‌‏گیری مداوم فشار هوای داخل بخش و اعلام هشدار و بسته شدن درب‏‌های شیشه‌‏ای آن‌ها در مواقع خطر بطور اتوماتیک، برای حفظ سلامت و ایمنی کاربر برنامه‌‏ریزی شده‌‏اند.

Responsive Image
بخش بیوتکنولوژی و سلولی و پزشکی بازساختی،  این مجموعه با ساخت داربست‌های ترمیم کننده جهت استفاده برای بیماران سوختگی آغاز شده است و قرار است تولید کیت‌های تشخیصی، پانسمان های بیولوژیک و ... در این مجموعه انجام پذیرد. کلین روم زیستی دانشگاه صنعتی شریف آمادگی دارد فضای تمیز را در اختیار متخصصین و تیم‌های مختلف خارج از مجموعه که در حال طراحی و انجام کارآزمایی‌های بالینی و تولید محصولات سلولی و مهندسی بافت هستند، قرار دهد و در این راستا می‌تواند پشتیبانی تأسیسات و تجهیزات تولید را نیز بر عهده داشته باشد. این بخش مجموعه اتاق تمیز به آماده سازی بافت و نمونه، کشت سلولی، بانک سلولی و بافت تقسیم‌بندی می‌شود که برای این بخش‌های تجهیزات مورد نیاز پژوهشگران و صنایع فراهم شده است.

ما کجا هستیم؟

آدرس مجموعه اتاق تمیز: تهران، دانشگاه صنعتی شریف، جنب دانشکده مهندسی هوافضا، ساختمان اتاق تمیز
Responsive Image