تجیهزات اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری

 Micro & Nano Fabrication Center (MNFC-CR) Equipments

Responsive Image

Responsive Image
در مرکز ساخت قطعات میکرو و نانومتری اتاق تمیز مرکزی شریف (MNFC-CR) ، امکانات به چند بخش لایه‌نشانی، لیتوگرافی نوری (فتولیتوگرافی)، زدایش شیمیایی، زدایش خشک و پلاسما، پلیمرهای سیلیکونی و برش لیزری تقسیم‌بندی می‌شود. با تجهیزات موجود در این مرکز امکان انجام پروژه‌های پژوهشی در دسته‌بندی‌های مختلف قابل اجرا می‌باشد. در هر حوزه، تجهیزات موجود در مرکز به طور کامل معرفی شده است که می‌توانید با کلیک روی عنوان فارسی هر بخش به صفحه تجهیزات مربوطه منتقل شوید. در صورت نیاز به مشاوره بیشتر و کسب اطلاعات دقیق‌‏تر می‌توانید با کارشناسان مرکز در تماس باشید. همچنین دستگاه‌هایی که آزمون آن‌ها ثبت شده است را می‌توانید با کلیک بر روی آزمون مربوطه ثبت درخواست کنید.

Responsive Image
 

لایه‌نشانی

 

[ Deposition ]

 
Responsive Image
 

لیتوگرافی نوری

 

[ Photolithography ]

 
Responsive Image
 

زدایش شیمیایی

 

[ Chemical Etching ]

 
Responsive Image
 

زدایش خشک

 

[ Plasma Etching ]

 
Responsive Image
 

پلیمرهای سیلیکونی

 

[ PDMS ]

 
Responsive Image
 

برش لیزری

 

[ Laser Scribing ]